什么情况
现在对着图纸,依葫芦画瓢都搞不这定,郁闷了?
刘林感觉到一阵无力感,所有技术参数都是现成的,也有着详细的加工数据,又不是说加工设备不行,超级加工中心的精度要比图纸高出几倍。
现在对着数据照抄啊,大哥,这样都搞定?
到底哪里出问题了?
刘林揉了揉脑袋,靠在椅子上不停的思索着,这个致命缺陷,哪里出在哪?
要知道技术攻关小组成立已有差不多一个星期了,要人给人,要设备给设备,总公司那边不管要什么,都以最快的速度送过来!
甚至准备加入刘林组的罗小文,也被拉进了这个临时攻关小组,最后就连刘林也参与了进来,而结果呢,唉。
这段时间,刘苛他们试了一次又一次,但结果就没不如人意,要知道刘苛等人,随便拉一个出来,都不比华国拿着特殊曾贴的院士差。
现在四人又加上刘林,整个玖安科技的技术大拿都参与进去了,从开始充满希望后现在,已经充满了绝望。
高科技研究就是个无底洞,这句话,在此时被刘林等人表示的淋漓尽致。
只是短短一几天时间内,刘苛带领的临时攻关小组,材料,设备等等,已经花掉了接近2千万。
花掉就花掉了,但问题是,现在没解决问题啊!
这些钱等于打水漂了,如果按这样败下去,别说玖科技,就算国家来了,也扛不住啊。
失败之后,就是找出问题同总结经验。
但,现在问题出在哪都不知道,还解决毛问题。
这只是等离子刻蚀机其中一个技术难点,像这样同等难度的问题rdd离子激光仪,还有好十几个呢,这只是rdd离子激光仪的问题,还没算难度便大的,等离子刻蚀机和浮动光刻机呢!
刘林想了想,伸手把放在桌子上的rdd离子激光仪的料资拿了起来。
rdd离子激光仪,又叫等pdd激光平面刻印仪,是工业微电子中非常常用的加工设备。
rdd离子激光仪,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分,工件送入被真空泵抽空的反应室,气体被导入并与等离子体进行交换,等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。
rdd离子激光仪实际上便是一种反应性等离子工艺,反应性激光体(rie),顺流激光体(ds),直接激光体(dp)。
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